8月8日，由國家半導體照明工程研發及產業聯盟（CSA）、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟（CASA）主辦的“紫外光電器件培訓會”在揚州會議中心成功舉辦，40余家單位代表參加了培訓。CSA常務副秘書長阮軍出席會議并致辭，與北京大學沈波教授、廈門大學康俊勇教授、南京大學陸海教授共同主持了本次培訓會。
CSA 常務副秘書長 阮軍
CSA常務副秘書長阮軍在致辭中表示，紫外光電器件作為半導體照明產業新的市場方向，具有廣闊的應用前景。為行業了解紫外LED及探測器技術進展，培養掌握理論、實踐綜合知識的高素質復合人才，聯盟組織邀請了紫外光電從外延、芯片、封裝等領域的教授、專家開展此次培訓會，感謝諸位專家老師能百忙之中安排時間授課，希望參與培訓的學員能夠充分抓住此次學習機會，與專家老師們深入交流，掌握先進技術同時，也為企業和產業貢獻力量。
會議現場
氮化物半導體在半導體照明、新一代移動通訊、新一代通用電源、雷達新能源汽車等領域有重大應用，對國家的產業升級、節能減排、國防安全具有戰略意義。同時，氮化物半導體也是全球高技術競爭的關鍵領域之一，其中AlN和高Al組分AlGaN是固態和紫外發光不可替代的半導體材料。
北京大學 沈波教授
北京大學理學部副主任、寬禁帶半導體中心副主任沈波教授分享《藍寶石上AIN的外延生長和深紫外LED器件的研究》。報告中指出，由于異質外延和體系內部大失配、強極化的特性，AlN、高Al組分AlGaN及其量子結構的外延生長和DUV-LED研制依然面臨一系列關鍵科學和技術問題，需要開展更為系統的研究。采用高溫退火和“小合攏區NPSS側向外延”方法制備出高質量AlN和高Al組分AlGaN外延層，AlN層XRD搖擺曲線半高寬為132(002)/140（102）arcsec，i-AlNGaN層（58%Al組分）為151（002）/235（102）arcsec；發光波長279nm，IQE超過80%。
廈門大學 康俊勇教授
廈門大學康俊勇教授分享《紫外LED發光機理和科學問題》主題報告。報告中首先介紹了半導體紫外光源優勢，對LED發光機理及半導體/金屬電極歐姆接觸、注入效率、內量子效率、出光效率、效率下降、非平衡生長等科學要點問題進行了詳細講解。
華中科大學 陳長清教授
發展深紫外LED產業意義重大，完全符合國家發展戰略。華中科技大學陳長清教授分享《紫外LED技術及應用》主題報告。報告中指出，紫外光源市場中，傳統汞燈正逐步被UV-LED取代，紫外UV-LED在光固化、光療、殺菌消毒的領域已成為未來技術發展趨勢。近紫外LED固化市場處于快速增長期，CAGR~23%，深紫外LED殺菌凈化市場處于爆發性增長初期，CAGR~210%。近紫外LED技術較為成熟并發展迅速，已應用于噴繪、膠印、光纖、液晶等領域的光固化。實現芯片及光源系統的光、熱和結構協同匹配優化成為工作重點。深紫外LED芯片性能仍需提高，制備高質量的AlGaN材料和提高芯片光提取效率將是未來深紫外LED的研究重點。
南京大學 陸海教授
南京大學陸海教授詳解《紫外光電探測器技術及應用》主題報告。首先從技術應用背景與需求，紫外探測器分類與基礎知識，紫外探測器技術發展現狀，面臨的科學與技術問題詳細展開。常規結構GaN基和SiC紫外探測器已經達到產業化水平，并在不斷拓展新型應用；用于材料成熟度較高，SiC紫外單光子探測器已經可以實現較好的性能；寬禁帶紫外單光子探測技術正向“成像陣列”方向發展。寬禁帶光電探測器在EUV和軟x射線探測領域可能有新進展。
華中科技大學 陳明祥教授
華中科技大學陳明祥教授介紹《紫外/深紫外LED封裝技術》研究報告。他表示，紫外LED技術優勢明顯，已替代汞燈成為新一代紫外光源。淺紫外LED可采用白光 LED封裝技術（材料/結構/工藝），主要應用于光固化、光催化、防偽等領域；深紫外LED必須采用全無機封裝材料，氣密封裝、低溫焊接，與提高光效是其技術關鍵；深紫外LED器件主要應用于殺菌/消毒，在流動空氣與水體，凈化領域前景廣闊。可靠性和成本是影響深紫外LED器件應用的主要因素。
北京華創智道知識產權咨詢服務公司 副總裁 褚戰星
北京華創智道知識產權咨詢服務公司副總裁禇戰星分享了《UVLED專利技術分析》專題報告。全球專利快速增長，進入布局黃金時期。照明、消毒、醫療等應用是未來布局重點。美、日、韓進入中國步伐加快。他建議，就UVLED技術專利布局要做好產業知識產權風險應對工作，建立起產業知識產權主場優勢，關注跟蹤主要競爭對手全球布局，加強該產業專利全球布局。
東莞市國瓷新材料科技有限公司 吳朝暉博士
東莞市國瓷新材料科技有限公司吳朝暉博士帶來了《UVLED陶瓷封裝基板及封裝技術》主題報告。據了解，2022年全球UVLED市值將達到12.3億美金，其中深紫外LED將達到9億美元，對應的陶瓷基板市值約2億美金，年復合增長率74%。未來深紫外封裝技術朝向更高能量密度發展，并且深紫外LED市場面臨消費者對其功能性、安全性、便利性和性價比四大因素的綜合考量。
中國科學院半導體研究所 魏學成研究員
中國科學院半導體研究所魏學成研究員分享了《紫外光電器件及應用標準綜述》主題報告，從紫外光源器件技術與市場概況、紫外LED應用領域、紫外技術標準概況、UV LED標準體系四方面進行展開。他介紹，目前UV LED市場的主要應用還是固化（2018年市場規模約1.2億美元，占比大約58%）；從2021年開始，UVC LED性能逐漸提升，消毒凈化的市場將崛起并逐漸取代固化應用的統治地位（預測2021年市場規模約2.4億美元，占比大約56%）。深紫外LED面臨晶體質量差、電注入效率低、極化效應、低的光提取效率技術瓶頸。
最后，CSA聯盟常務副秘書長阮軍做會議總結，他表示，非常感謝各位專家為本次培訓會精心準備的培訓課件，感謝各企業技術負責人、高校老師、學生報名參加、積極互動，不過本次活動時間安排還是比較緊張，今后聯盟將會吸取經驗，設置更多問答、互動環節，根據產業熱點需求開展此類活動，為行業提供更好的學習、溝通、交流的平臺，促進產業發展進步。最后再次感謝大家的參與和對聯盟的支持，本次會議圓滿完成。
